上海微系統與信息技術研究所研究員武震宇、助理研究員王櫟皓團隊，開發了一種高性能的10毫米大口徑壓電MEMS 快反鏡，能夠實現更精確的激光光束閉環控制，可滿足激光星間鏈路對高精度、快速響應與穩定性的需求，為衛星通信終端提供小型化高性能解決方案。4月29日，相關研究發表于《微系統與納米工程》。

　　快反鏡在衛星激光通信中承擔著光束指向、捕獲和跟蹤等重要作用，需要具備高指向精度、高工作帶寬和高光學質量等一系列極限性能指標。然而，傳統機械快反鏡存在體積大、功耗高、存在遲滯等挑戰，同時原有MEMS快反鏡鏡面小、帶寬低、無集成角度傳感器等問題也亟待解決。

　　在前期研究基礎上，研究團隊開發了一種10 毫米大口徑壓電驅動MEMS快反鏡。該設計采用雙層異構集成技術以及晶圓級鍵合工藝，器件具備高線性度超高角度分辨率、快速階躍響應以及高重復定位精度。在結構設計方面，研究團隊創新性地引入力學定向結構形成應力集中區域，顯著優化了光束控制的精確性。在性能表征方面，研究團隊首次針對10毫米大口徑鏡面動態變形進行表征，在準靜態驅動下最大動態表面形變僅2納米，滿足遠距離衛星激光通信對鏡面面型的嚴苛要求。

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　　研究團隊表示，與傳統機械快反鏡及現有商用MEMS快反鏡相比，該器件優勢顯著，在航空航天領域具有重要的應用前景，未來將繼續針對鏡面尺寸、閉環控制以及器件可靠性進行優化研究。